製品情報

一般発熱体

ニクロムや鉄クロム系などのヒータ温度に対する抵抗変化が小さい発熱体です。

分類	種類	特徴	用途
一般発熱体 （定抵抗発熱体）	ニッケル・クロム・鉄合金	一般的なヒーター。耐腐食性	空調、電気炉
	鉄・クロム合金	ローコスト、耐酸化、加工容易、高温	恒温槽、電気炉
	ニッケル・クロム合金	コスト高、耐酸化、加工容易	電気炉
	鉄・クロム・アルミ合金	実使用は1,200℃程度の電気炉 耐酸化、形状安定性	電気炉、電気窯
	鉄・クロム・アルミ粉末合金	ヒーターを金属管などに封入したもの	主に液体の過熱
	ニクロム系	ニクロム線を保護管に入れたヒーター。タングステンと比べ安価、温度は低い	樹脂加工、乾燥炉
	赤外線カーボンヒーター	暖房用が主流。工業用としては加熱、乾燥用に使用される	加熱、乾燥装置
抵抗値-温度特性

温度に対する抵抗値変化率が１０％程度なので位相制御、ゼロクロス制御ともに標準的な制御が可能です。ＸＰパラコンの選定では、負荷変動を１０％程度見込んで選定します。

貴金属発熱体

白金、モリブデン、カンタルスーパー、タングステンなどの純金属発熱体や珪化モリブデンなどの非金属発熱体などヒータ温度に対する抵抗変化が10倍程度と非常に大きい発熱体です。

分類	種類	特徴	用途
貴金属系発熱体	モリブデン	タングステンより安価、加工が容易	高温電気炉
	タングステン	赤外線非接触加熱、経年変化が少ない 温度の立ち上がり立下りが早いので、微妙な温度コントロールが可能	自動車塗装乾燥 半導体洗浄液加熱 太陽電池基板の加熱
	白金	高温、クリーンさが求められる用途高価なので大型の装置には不向き	研究用電気炉（小型）
	二珪化モリブデン	高温、耐酸化性、長寿命	電気炉、実験炉、半導体製造
	窒化珪素	耐酸化、耐薬品に優れる	半導体、試験装置 アルミの溶融
	窒化アルミ	耐酸化、耐薬品、温度分が均一 急速加熱	半導体、ＣＶＤ
抵抗値－温度特性

貴金属系発熱体は、温度が上がるとともに抵抗値が約10倍高くなることから、ヒーター温度が低い時、電流が多く流れるので、ソフトスタートおよび限流機能を使用して制御します

炭化珪素系発熱体

炭化珪素系発熱体ヒータ温度に対する抵抗変化が大きく、なおかつ、ヒータの消耗により電気抵抗が経年変化していく発熱体です。

分類	種類	特徴	用途
炭化珪素系発熱体	炭化珪素系ヒーター	炭化ケイ素は、窒化珪素、窒化アルミとともにファインセラミックスの一種パワー半導体としても使用されている	ファインセラミックス 優れた特性から、多分野にわたり使用されている
	シリコニット	金属ヒーターに比べて耐酸化性、耐熱性、耐食性に優れており、金属に似た高い導電性がある。	半導体、自動車、ガラス、るつぼ炉、無酸化焼成炉、ロウ付炉、アニール（焼鈍）炉
	エレマ
	テコランダム
抵抗値－温度特性

温度による抵抗値変化と経年変化による抵抗値変化が大きい。
常温時は抵抗値が高くなり、昇温とともに低くなるので限流機能設定、勾配機能設定と組み合わせて制御する。
このヒーターの電気的スペックは、常温時でなく約1,000℃での特性値が表記される。
この負荷の場合、限流機能や定電力機能が制御には最適です。

2021.6.25：【電力調整器】電気ヒータ制御機器

2022.3.14：【FAQ】ヒータ温度制御

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